Fizikai Szemle 2007/9-10. 296.o.
EGYESÜLT ANYAGTUDOMÁNY
Az izzólámpától a nanocsövekig
Gyulai József
KFKI Mikroelektronikai Kutató Intézet, MKI, (1991-ig),
KFKI Anyagtudományi Kutató Intézet, ATKI (1997-ig),
Műszaki Fizikai és Anyagtudományi Kutató Intézet, MFA (1999-től)
A kilencvenes évek elején két intézet korábbi súlypontjait
újra kellett gondolni, mert nemcsak az ATKI
termékpalettája irányult a keleti piac felé, de az MFKI1
sok terméke is piacát vesztette. Világos volt az is,
hogy két, a tudománypolitika szóhasználatában azonos,
illetve hasonló profilú "anyagtudományi" intézetet
az MTA aligha fog finanszírozni. Emellett mindkét
intézet azon intézetcsoporthoz tartozott, amely vitálisan
függött a zuhanórepülésben lévő külső , illetve
ipari finanszírozástól.
Az MTA-ban ekkoriban lett megítélési prioritás a
szcientometria. Ebből a szempontból mindkét intézményben
csak korlátozottan voltak olyan szakmai iskolák,
amelyek kiállták ezt a próbát: a vékonyréteg-felületfizika,
valamint az elméleti (statisztikus) fizika az
MFKI-ban és az ionimplantáció (benne az ellipszometria
ilyen célú alkalmazásával), valamint a mágneses kutatások
az ATKI-ban. A preparatív szakmák, a hozzájuk
tartozó, rengeteg személyes intuícióval létrehozott és
fenntartott, minősített légállapotú laborral, amelyek a
felszerelés évekkel való lemaradása, elöregedése miatt
- ne szépítsük - általában csak "követő" kutatásra lehettek
képesek, veszélybe kerültek. A hivatkozási, társszerzői
szokások miatt még az élvonalbeli kísérleteket
lehetővé tevő mintákat előállító laborok is csak ritkán
kapják meg a megérdemelt "kreditet".
A két intézet múltja, kapcsolatai ugyan sok pozitív
eseményt rejtettek, de ellentmondásosak is voltak.
Újpest és Csillebérc - a korábbi kapcsolatok
Gyulai József saját személyében sokat köszönhetett az
MFKI-s kollégáinak - már a szegedi életében. Később,
a félvezető-tematikai "területkartell" KFKI-s áthágása
megnehezítette számára a helyzetet - pláne, hogy kicsin
múlott, hogy nem "KFKI-ba delegált MFKI-munkatársként",
hanem KFKI-sként indította meg itthon a
félvezetős implantációs kutatásokat. Érthető, hogy
folyamatosan igyekezett a helyzet élét tompítani.
Ennek megfelelően már az 1974-es esztendőben
delegált az MFKI vendégkutatót a KFKI2 Implantációs
Célprogramjához, Hermann László személyében, aki
az implantált rétegek elektromos minősítésébe
kapcsolódott be, segített a méréstechnika helyi felépítésében
is.
A munkából egy, sajnos "túlságosan is korai", azaz
akkor elsikkadt, a Physica Status Solidiban megjelent
publikáció született, amelyet - mai definícióval - a
kombinatorikus anyagtudomány egyik első megvalósulásának
nevezhetünk. Az "anódos oxidációnak"
ugyanis egy olyan változatát ismertük fel és valósítottuk
meg 1974-ben, amelynél a szilíciumcsíkot egyenletes
sebességgel mozgatva merítettük be az anodizáló
oldatba. Ekkor, a mozgatás révén, az oxidréteg ékalakban
lineárisan vastagodva nőtt. Ezt az ékalakú
oxidot eltávolítva, mindmáig rekordot jelentő kicsiny
'menedékességű' "ferdecsiszolat" állítható elő, ami a
mai IC-méretekhez3 kiválóan illeszkedik.
A későbbiekben sok közös cikk született a két intézet
munkatársainak együttes munkája eredményeként
néhány példát kiragadunk. Az 1. ábra egy kiemelkedő
mikroszkópos
teljesítményt mutat be. Nagy teljesítményű
diódák előállítását célozták akkoriban a p- és
n-típusú szeletek direkt szeletkötéssel való "összeragasztására"
végzett kísérleteink. Ez az egyik esetben
a két szelet hőkezelésekor kis mértékben (1,5°) elfordult.
Pécz Bélának sikerült a mintegy fél mm vastag
diódaszerkezet közepén a félreorientálódás miatt periodikusan
fellépő diszlokációkat megtalálnia!
A Silicon-On-Insulator (SOI), amely a SOS-nek4 a
nyolcvanas években kutatott több variánsát jelentette
- esetünkben a lézeres olvasztásos laterális epitaxiáról
volt szó - szintén jelentős kooperációvá nőtte ki
magát.
Hasonlóan, az MFKI III-V félvezető eszközkutatásai
jól tudták hasznosítani a KFKI-ban kifejlesztett
analitikai eljárásokat. Több közös publikáció született
a GaAs-eszközök kontaktusainak kialakítására is, a
vékony oxidrétegeknek úgynevezett rezonancia-RBS-szel5
való kimutatására, valamint a gyorsan fejlődő
KFKI-s ellipszometriai készség és tudás hamar megtalálta
az MFKI kutatóit, mint együttműködő partnereket
a III-V-típusú félvezetős programjaik támogatásában:
Fried M., Horváth Zs. E., Jároli E., Lohner T.,
Mezey G., egyfelől, Barna P. B., Farkas-Jahnke M.,
Pécz B., Radnóczi Gy., Somogyi M., Veresegyházy R.,
Tóth A. másfelől.
Az "Eötvös" Űrtechnológiai Program
A két intézet hivatalosan is intenzív együttműködését
ez a program jelentette.
Anekdotaszerűen: az, amikor az Interkozmosz javaslatokat
kért a szovjet-magyar űrrepülés kapcsán
végrehajtandó magyar kísérletekre, éppen akkor volt,
amikor egy amerikai gimnazista diák a pók hálóépítési
képességének a súlytalanság közepette való vizsgálatát
javasolta. A KFKI félvezetős kutatói ezt tekintették
zsenialitási normának - nem is javasoltak űrkísérletet.
1979 őszén azonban az Interkozmosz szervezet
kifogásolta, hogy hazánk nem tett javaslatot az űrkemencében
végezhető technológiai kísérletre.
Szabó Ferenc akkori KFKI főigazgató Gyulai Józsefet
küldte ki Moszkvába ennek a korrigálására, aki
Fuchs Erik professzort találta ott, a "BEALUCA" programjavaslattal.
Mikor a "SZPLAV" űrkemence műszaki
paraméterei kiderültek, látszott, hogy a KFKI Implantációs
programjának szilíciumos témáihoz értelmesen
illeszkedő kísérletet azzal aligha lehet végezni. Az
alacsonyabb olvadáspontú III-V-vegyületek, azaz az
MFKI súlyponti anyagai azonban lehetőséget kínáltak.
Akkoriban telefonbeszélgetésre még nem lehetett
gondolni, ezért Gyulai József helyben megfogalmazott
három kísérletet, amelyben azonban kardinálisan
az MFKI kutatóira, az ő "igen"-jükre kellett számítania.
Nevet is adott a programnak, az "ötvözés"-re is
utalva, "Eötvös" Programnak nevezve.
A három kísérlet:
- Fluxszal való folyadékfázisú epitaxiás (LPE)
GaAs-növesztés "félszigetelő" GaAs-re,
- GaSb mag nélküli kristályosítása (e két kísérlet
akkor újdonság volt),
- kontrollképpen megismételni a NASA InSb növesztési
űrkísérletét.
Nagy örömére itthon Lendvay Ödön és munkatársai
teljes mellszélességgel a javaslat mellé álltak, és
gyors tempóban elindultak az előkészítő munkák,
amelyekben a kristályok előkészítését az MFKI, az űrkapszulázás,
biztonságtechnika, kapcsolattartás a
KFKI feladata lett.
Érdekességként említjük, hogy a biztonságtechnikai
kérdések, de az esetleges sikertelenség esetére a
szovjet oldali felelősség elhárítása miatt is emlékezetesek
Fuchs Erik és Gyulai József vitái az Interkozmosz
munkatársaival, például a kemence hőmérsékletének
kontrollja ügyében. Azt kérték, mi mondjuk
meg, milyen hőmérsékletet állítson be Farkas Bertalan
a kemence kontrollpaneljén. Szerintünk a mi feladatunk
csak a kapszula belső hőmérsékleti mezőjének
megtervezése volt - az, hogy milyen feliratú gombot
kell megnyomni, az ő felelősségük. Nem adtak
a kontrollpanelen beállított és a kapszulában létrejövő
hőmérséklet kapcsolatára egyáltalán következtetni lehetett
volna. Ez okozta végül, hogy a GaAs-kísérletnél
"elszaladt" a hőmérséklet. A két másik növesztés
azonban sikeres lett, amint fentebb írtuk, több cikket
eredményezett az elkövetkezőévekben - bár végig
abban a tudatban kellett dolgoznunk, hogy folytatásra
aligha lesz lehetőség (2. ábra).6
A "végkifejlet": az MFA létrejötte
Már a kilencvenes évek elején beszédtéma volt az intézetek
igazgatói között, hogy a hazai anyagtudományi,
ebben a félvezető, optikai, fémkutatásoknak a
súlya jelentősen megnőne, ha az MFKI és az ATKI közös
telephelyen folytatná a tevékenységét. Abban is
egyetértés volt, hogy a kilencvenes évek eleji tudománypolitikai
helyzetben a KFKI Campus lenne a
jobb telephely, de - és ebben sem lehetett a két igazgatónak
egyet nem értenie - a költözésre az MFKI
munkatársainak csak egy töredéke vállalkoznék, elsősorban
a lakáshelyzetük miatt. Emellett volt olyan
pszichológiai gát is, hogy az MFKI, átgondoltabb tudománypolitikája
eredményeképpen, több tudományosan
minősített munkatárssal rendelkezett, így a
munkatársak tartottak attól, hogy egy új telephelyen
valamiféle "alárendelődés" következnék be. Ennek ellenére
tárgyalt a két igazgató az MTA főtitkárával, érdeklődött
a költözés anyagi fedezetének biztosításáról.
A válasz azonban ekkor csak nemleges lehetett.
Pár évvel később viszont, az intézetkonszolidáció
idején, 1997-ben, a kérdés élesen vetődött fel. Határozott
szándékot láttunk az MTA Konszolidációs Bizottságában
a Fóti úti telephely felszámolására, és mind
az MFKI, mind az ATKI esetében a jó szakmai csoportoknak
valamelyik KFKI-intézetbe történő beolvasztására,
a többi részlegnek a felszámolására. Az indító
átvilágításnál ugyanis az 1992-95-ös időszakot vették
alapul, amikor az ATKI-beli változások - például a tudományos
fokozatszerzés központba állítása - még
éppen csak elkezdődhettek, illetve azok hatása még
alig jelentkezhetett a szcientometriai mutatók terén.
Az alkalmazott kutatást célnak tekintő korábbi évek
során ugyan született sok-sok publikálható, illetve
disszertálásra alkalmas eredmény, de ezek beérlelését
a határidős feladatok általában, és éppen a "legjobban
húzók" esetében, megakadályozták.
A döntő érvelés, amely az önálló intézeti létért való
lobbizást motiválta az volt, hogy az ATKI unikális tiszta
laborját a két intézet "jó" részlegeit befogadni kész
KFKI intézetek (SZFKI, RMKI) akkori vezetői - a labor
fenntartásának költségességére hivatkozva - nem vállalták.
Végül sikerült az MTA vezetését és mindkét felelős
tudományos Osztályt (Műszaki, illetve Fizikai
Tudományok Osztálya) meggyőzni egy komplex
anyagtudományi intézet szerepének fontosságáról.
Ezek után döntött a Konszolidációs Bizottság a KFKI
telephelyen való egyesülésről. Pénzügyi-technikai
okok miatt olyan döntést kellett azonban hoznia,
amely szerint a KFKI-ATKI szűnik meg jogutód nélkül,
és az MFKI jogfolytonosan, új telephelyen és névvel,
MTA Műszaki Fizikai és Anyagtudományi Kutatóintézet
ként, folytassa a munkáját az ATKI munkatársaival
vegyülve. Ezzel megkapta mindkét intézet az
esélyt, hogy az értékeik szinergikusan átmentődjenek.
A két igazgató megegyezett, hogy - kinevezett
igazgatóként - Gyulai József vállalja az egyesítés
szakmailag is nehéz, de emberileg még nehezebb feladatát.
Sőt, szerette volna a szinergizmust már a költözéskor
érvényre juttatni, de a KFKI Campuson korábban
kialakult helyzet (alkalmasan átalakítható épületek
léte, bérlőkkel kötött szerződések, illetve pénzügyi
korlátok) csak mértékkel tette lehetővé a szigorúan
tematikus elhelyezést.
Az emberi, lelki gondot az okozta, hogy a megadott
konszolidációs létszám mintegy százhúsz fővel volt
kevesebb a két intézet együttes létszámánál. Az egyesítés
szinte lehetetlen, a katasztrófát súroló feladata amiatt
volt egyáltalán vállalható, mert bekövetkezett az az
előre is látott gond, hogy az újpesti illetőségű technikai
személyzet megretten a közlekedési nehézségektől és
inkább a végkielégítést választja. A kutatók átköltöztetése
1997 végén - néhány fájdalmas döntéstől eltekintve
- megoldható volt. Így, 1998 első munkanapján, egy
intézeti gyűléssel megkezdődött a közös élet. A segéderők
hiánya nehezen, de például nyugdíjas foglalkoztatásokkal,
preferált felvételekkel lassan enyhült.
Az intézetek szinergikus megerősödésében volt
még egy fontos faktor. Az ATKI-ban már korábban is
jól szervezett szemináriumi élet folyt, hetenkénti,
külső-belső előadókkal, Kádár György szervezésében.
Természetesen kínálkozott ennek az MFA-ra való
átvitele, továbbéltetése. A rendszeres, szinte kimaradásmentes,
tematikailag tudatosan vezérelt program
eredményesen hozzájárult az egyesült intézetek összeforradásához.
Külön meg kell említeni Somogyi Istvánnét - egy
megszűnő KFKI-intézet, az MSzKI7 korábbi gazdasági
vezetőjét -, aki vállalkozott a gazdasági igazgatói szerepre,
és aki le tudta vezényelni mind pénzügyileg,
mind humánpolitikai ügyintézőként a rövidtávon
rendkívül hálátlan feladatot.
Az MFKI laborjai, témái közül néhány azonban felszámolódott,
átalakult, például kisvállalattá. A legnagyobb
költözési veszteség két MFKI-s témát érintett: a
vegyület félvezető kutatást, ugyanis az úgynevezett
MOCVD-technika8 áttelepítésének környezetvédelmi
szempontjai a budai hegyekben teljesíthetetlennek bizonyultak
(csak az LPE-technikát tudtuk áttelepíteni), valamint
a magas olvadáspontú fémek kutatásának témáját.
Ez utóbbi, korábban súlyponti és rendkívül sikeres
témánál az ipari érdeklődés lecsökkenése és a tudományos
utánpótlás szinte teljes hiánya miatt kellett a laboratóriumok
áttelepítésétől eltekinteni. De a leginkább
értékesíthető eredményt, a környezetbarát volfrám-, illetve
molibdén-visszanyerésnek a szabadalomértékű
megoldását (Vadasdi Károly ) egy, az MFA-val szoros
együttműködésben álló kisvállalkozásban (Tungslab)
sikerült túléltetni és sikerre is vinni.
A jelen összeállítás további fejezetei alapján a Tisztelt
Olvasó eldöntheti, hogy a küzdelem megérte-e?
Különösképpen ma, az új, az uniós Magyarország
gazdasági nehézségeinek kulminálása idején éles a
kérdés, amikor a következő ötven év elérését kell a
mai vezetésnek a célkeresztbe állítania - a szakmának
az emberiség összérdekében játszott szerepe fontosságának
tudatában.
A tudásunk ma is eladható - és ezen írás idején látszik,
hogy az ötven év beérett.
"Fluctuavimus, nec mergimur"9
______________________________
1 Műszaki Fizikai Kutató Intézet
2 Központi Fizikai Kutatóintézet
3 Integrated Circuit - integrált áramkör
4 Silicon-On-Sapphire
5 Rutherford Backscattering Spectrometry, az oxigénatomokon a
2,03 MeV energiájú alfa-részecskék rezonáns hatáskeresztmetszetet
mutatva szóródnak.
6 Ebben, szerencsére, tévedtünk: a két program közös konklúziója
ugyanis az volt, hogy a szovjet űrhajók klímái 10-3 g körüli rezgést
okozva, zavarják a kristályosodást. Fuchs Erik ötlete volt, hogy mechanikai
mozgás nélküli kemencét kellene építeni, a zónák hőmérsékletét
komputeres vezérléssel kell megoldani (ez 1982-ben már
reális lehetőségnek látszott) és egy külső platformra kitenni. Innen
indult el a máig sikeres hazai űrkemence-program (ma a Miskolci
Egyetemen).
7 KFKI Mérés- és Számítástechnikai Kutató Intézet
8 MetalOrganic Chemical Vapor Deposition
9 Hányódtunk, de nem merülünk el ….