MURAY GYULA (1930-1991)

A búcsú mindig fájdalmas. Most pedig különösen az, amikor a halál egy nagyívű tudományos pályát szakít meg, jelentős tervek megvalósítása közben, váratlanul és megdöbbentően tesz pontot egy befejezetlen mondat végére...

Muray Gyula 1930-ban született Vácott. A kisváros nagyhírű piarista gimnáziumának növendéke. A gimnáziumi évek mélyérzésű, szilárd jellemű és felvilágosult ifjút, érleltek és egy életre meghatározták világnézetét, szellemiségét. Egyetemi évei már a fényes szellők időszakára estek, izgalmas és mozgalmas diákélményekkel és lehetőségekkel. 1954-ben azon az évfolyamon végzett, mely az Eötvös Loránd Tudományegyetemen az első fizikus diplomát kapta. Elektronfizikai témával az Eötvös Egyetem Elméleti Fizikai Intézetének munkatársa lett, sok tehetséges kollégájával együtt nagy reményekkel nézett a jövőbe. Sajnos a fényes szellők égboltja beborult, viharfelhők tornyosultak. Az égzengés a Novobátzky-iskola tagjaként érte, és messze sodorta hazájától: Kaliforniában, Berkeley-ben, az akkori fizika egyik fellegvárában talált újra otthonra, de hazája mindig ez a kis ország maradt. Teller kvantummechanika előadásait hallgatja, elektronfizikával foglalkozik továbbra is, de érdeklődése egyre inkább a kísérletek és az alkalmazások felé fordul, résztvesz a lineáris iongyorsítók forrásainak fejlesztésében. Berkeleyben szerzi meg a Ph. D. fokozatot 1961-ben. Innen kezdve pályája töretlenül fejlődik, sikeres kutató, segítőkész munkatárs, jó technikai készségű fejlesztő. A szilikonvölgy híres egyetemére, Stanfordba kerül a világ akkor legnagyobb lineáris gyorsítója (SLAC) mellé, ahol 1965-ig dolgozik a részecskekölcsönhatások (elektronok, fotonok) témakörében, majd 1965-ben a Hewlett-Packardnál és több más neves intézménynél dolgozik témájában a szilikonvölgyben. Szívós és kitartó munkája a mikroelektronikai eszközök kialakítása, a csúcstechnikai fejlesztések alapkutatási vonatkozásai és a technológiai részletek kutatási irányában hoznak nagyon jó eredményeket:
- kifejlesztette az első multielektronsugaras litográfiai berendezést nanotechnológiai műveletekhez,
- úttörő szerepet játszott a multiionsugaras és az ionsugárleképezéses technológiák kialakításában,
- kifejlesztette az első alacsony energiás plazmaröntgenforrásos litográfiát szubmikron tartományokra,
- az ultrarelativisztikus részecskék érzékeny detektoraihoz új felületi effektusok kihasználását javasolta,
- úttörő szerepet játszott egy újfajta radiometriai és fotometriai berendezés kifejlesztésében igen alacsony intenzitású fényforrások vizsgálatához,
- újfajta plazma-display-t fejlesztett ki;

Mindezek mellett elméleti magyarázatokat és követendő kísérleti útmutatást adott sok résztémában és problémában. Cikkeinek száma száz felett van, tíz szabadalom feltalálója. Két könyve jelent meg: "The Physics of Microfabrication" és a "Beam processing technologies", nagy sikerrel. Az előbbit mint a témában a legátfogóbb monográfiát megbecsült tankönyvként használják még a Szovjetunióban is. A "Physics and Fabrication Technologies" könyvsorozat szerkesztője, a "Journal of Micromechanics and Microengineering" szerkesztőbizottsági tagja, az elektronikai csúcstechnológiák világszerte elismert szakértője, neves tudósa lett. Mint a Stanford Research Institute egyik vezető kutatója sokat utazik, szakértelmét mindenhol, - úgy Európában mint Japánban - nagyon magasra értékelik. Mindezek mellett még arra is futotta erejéből, hogy alapító tagja legyen a Schrödinger Társulatnak Bécsben, és persze arra is, hogy sokat járjon haza, segítse lehetőségei szerint az itteni kutatásokat és fejlesztéseket.

Kitüntetésnek éreztem, hogy ez az ember megtisztelt bizalmával, beavatott terveibe, és komolyabb hazai kötődésének jeleként a Rétegfizikai Laboratórium kérhette címzetes egyetemi tanárrá történő kinevezését, melyet a fizikus szakmai testület jóvá is hagyott. És itt szólt közbe a kegyetlen sors... Mielőtt még kinevezését hivatalosan átvehette volna, tragikus hirtelenséggel elhunyt.

A búcsú nagyon fájdalmas volt. Családja: felesége Dr. Diószeghy Katalin és fiai Dr. Muray András és Dr. Muray Lóránt fizikusok, a férj és apa elvesztése mellett a szakmai veszteséget is érzékelik. De velünk együtt, akik ismertük és sokat tanultunk tőle, a család is tudja, hogy Muray Gyula hatása, alkotásai, művei tovább élnek és hirdetik egy nagyszerű életmű tanításait.

Muray Gyula legfontosabb cikkei, melyek nagy hatással voltak a mikroelektronikai eszközgyártás színvonalára:

[1] Ando, Masaaki; Muray, Julius J.: Spatial resolution limit for focused ion-beam lithography from secondary-electron energy measurements J. Vac. Sci. Technol.; 1988; B 6(3): 986.
[2] Blankenburg, S. A.; Cobb, J. K.; Muray, J. J.: Efficiency of Secondary Electron Emission Monitors for 7 0 meV Electrons. Nuclear Instruments and Methods; 1966; 39: 303-308.
[3] Brondie, Ivor; Muray, Julius J., Series Editors; Microdevices: Physics and Fabrication Technologies: Plenum Publishing Corporation.
[4] Brondie, Ivor; Westerberg, Eugene R.; Cone, Donald R.; Muray, Julius J.; Williams, Norman; Gasiorek, Leonard: A Multiple-Electron-Beam Exposure System for HighThroughput, Direct-Write Submicrometer Lithography. IEEE Transactions on Electron Devices; Nov. 1981; ED-28(11): 1422.
[5] Cobb, J. K.; Muray J. J.: Laser Beam-induced Electron and Ion Emission from Metal Foils. Brit. J. Appl. Phys.; 1965; 16: 271.
[6] Cobb, J. K.; Muray, J. J. (Stanford Linear Accelerator Center): Magnetic Field Measurement and Spectroscopy in Multipole Fields. Stanford, Ca; 1965. Nov; SLAC Report No. 39 (Revised). Note: AEC Contrac AT(04-3)-400.
[7] Cobb, J. K.; Muray, J. J. (Stanford Linear Accelerator Center): Shower Development and Heating in the Waveguide Structure with an 800 meV Electron Beam. Stanford, CA: Stanford Linear Accelerator Center; 1962, July; SLAC Reprot No. 3. AEC Contact AT(04-3)-400.
[8] Cole, J. L.; Muray, J. J.: High Repetition Rate Pulser for Beam Switching Magnet. 37 ed. Office of Technical Services, Department of Commerce Washington, DC: SLAC; 1965, February; Technical Report TID-4500
[9] Cole, J. L.; Muray, J. J. (Stanford Linear Accelerator Center): High Repetition Rate Pulser for Beam Switching Magnet. Stanford, California: Stanford Linear Accelerator Center, 1965, Feb.; SLAC Report No. 36. Note: AEC Contract AT(04-3)-400.
[10] Cole, J. L.; Muray J. J.: (Stanford Linear Accelerator Center). On the Theory of Ignitron Breakdown in Modulator Service. Stanford Service. Stanford, CA: Stanford Linear Accelerator Center; 1964, July; SLAC Report No. 31. Note: AEC Contrac AT(04-3)-400.
[11] Cole, J. L.; Muray J. J. Pulsed Bending Magnet System for the Stanford Two-Mile Accelerator. IEEE Trans. on Nuclear Science; Feb.: 150.
[12] Csonka, P. L.; Muray J. J. Ground Radiation Pattern Generated by High-Altitute Reflectors. IEEE Transaction on Aerospace and Electronic Systems; 1985, May; AES-21 (No.3): 331.
[13] Csonka, P. L.; Muray, J. J.: Radiation-Supported Space Mirror: Overview of Concept. IEEE Transactions on Aerospace and Electronic Systems; 1985, May;. AES-21(No. 3): 320.
[14] Gutdieck, R. A.; Muray, J. J. An Intense Plasma Source for X-ray Microscop. Proceedings of the Society of Photo-Optical Instrumentation Energineers; 1981.
[15] Gutcheck R. A.; Muray, J. J.; Bernstein, M. J.: Pulsed Plasma X-ray Sources for Submicron Lithography.: Proceedings of the Electrochemical Society, 10th Int'1 Conf. on Electron and lon Beam Science and Technology; 1982, May; Montreal.
[16] Inman, F. W.; Muray, J. J.: Transition Radiation from Relativistic Electrons Crossing Dielectric Boundaries.: The Physical Review; 1966, Feb. 4; 142(1): 142.
[17] Muray, J. J.: Characters and Applications of Multiple Beam Machines. Microcircuit Engineering 88; 1988, Sept. 20-22; Vienna, Austria.
[18] Muray, J. J.: Electron Beam Processing. in: VLSI Electronics: Microstructure Science: Academic Press; 1989; 21.
[19] Muray, J. J., Editor.: Microelectronics-Applications, Materials and Technology (1983-1984). Menlo Park, Ca: SRI International; 1983-1984.
[20] Muray, J. J., Editor.: Microelectronics, Photonics, Materials, Sensors and Technology (1985-1986). Menlo Park, CA: SRI International; 1985-1986.
[21] Muray, J. J.: Operation of Stable Pulsed Light Source. The Review of Scientific Instruments; 1966, March; 37 (3)
[22] Muray, J. J.: Photoelectic Effect Induced by High Intensity Laser Light Beam in Quartz and Borosilicate Glass. Dielectrics; 1964, Feb: 221.
[23] Muray, J. J.: Scattering of Polarized Light on Magnetically Aligned Particles in Mutipole Magnetic Fields. Applied Optics; 1965, Aug; 4(8): 1011
[24] Muray, J. J.: (Stanford University). Shower Development and Heating in the Accelerating Structure of a 50-BEV Linear Electron Accelerator. Stanford California: Stanford University; 1961, Sept.; M Report No. 276. Note: AEC Contract AT(04-3)-363.
[25] Muray, J. J.: Single Photon Spectroscopy as a New Analytical Technique in Chemistry. Pittsburgh Conf. on Analytical Chemistry and Appl. Spectroscopy; 1969, March 6; Pittsburgh.
[26] Muray, .J. J.: Single Photon Spectroscopy. Laser Journal; 1970, July/August: 25.
[27] Muray, J. J.: Surface Conductivity of Borosilicate Glass. J. Appl. Phys.; 1962, April; 33(4): 1525-1531.
[28] Muray, J. J.: Volume Conductivity of Borosilicate Glass. J. Appl. Phys.; 1962, April; 33(4): 1517-1524.
[29] Muray, J. J.; Nicodemus, F. E.; Wunderman, I.: Proposed Supplement to the Si Nomenclature for Radiometry aud Phptometry.: Applied Optics; 1971, June; 10(6): 1465.
[30] Muray, .J. J.; Scholl, R. A.: Precision Measurements in Time-varying Magnetic Fields. IEEE Trans/on Instrumentation and Measurement; 1964, Dec.; IM-13(4): 348-353
[31] Stengl, G.: Loschner, H.; Hammel, E.; Wolf E.D.; Muray, J.J.: Ion Projection Lithography. in (Ehrlich, D..J.; Nguyen, V,T., eds. Emerging Technologies for In Situ Processing: Martinus Nijhoff; 1988.
[32] Stengl, Gerhard; Loschner, Hans; Muray, Julius J.: Ion Projection Lithography. Solid State Technology; February 1986.
[33] Stengl, Gerhard; Loschner, Hans; Muray, Julius J.: Sub-0.1 m Ion Projection Lithography [Extended abstract] Conference on Solid State Devices and Materials; 1986; Tokyo, Japan; 1986: 29-32.
[34] Wunderman, I.; Muray J. J.: Optical Quantum Detectors. Research/Development; 1970, June.
[35] Wunderman, I.; Muray, J. J.: Thermopile Radiation Detectors for Biomedical Temperature Measurements. 5^th Symposium on T'emperature; 1971, June 21-24; Washington, DC.
[36] Wunderman, I.; Muray, J. J.: Thermopile Radiation Detectors for Biomedical Temperature Measurements. 5^th Symposium on Temperature; 1971, June 21-24; Washington, DC.